全球首座 18吋晶圓廠12月就緒

全球首座 18吋晶圓廠12月就緒
全球450mm聯盟：3年後建立測試生產線
全球450mm聯盟發展進展受矚目，昨日於論壇中預告首座18吋晶圓廠將於今年12月準備就緒。莊宗達攝
【楊喻斐╱台北報導】2012年國際半導體展昨閉幕，450mm（18吋）供應鏈論壇邀請到台積電（2330）、全球450mm聯盟、應用材料、KLA-Tencor、Lam Research等深度探討450mm未來發展藍圖，並率先預告世界第1座450mm晶圓廠將於今年12月準備就緒。
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台積電派往全球450mm聯盟的技術中心處長林進祥特別回台參加這次的論壇，他指出，世界第1座450mm晶圓廠將於今年12月準備就緒，而全球450mm聯盟希望在2015年~2016年間建立18吋晶圓的測試生產線，可望陸續開始生產品質較好的生產晶圓。
台積電450mm計劃暨電子束作業處處長游秋山表示，18吋晶圓發展之路仍有許多挑戰，若按照台積電規劃，於2018年開始以10奈米量產18吋晶圓，屆時適用的微影技術是否夠成熟是最大問題。
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2018年以10奈米量產
游秋山說，屆時更高昂的設備成本，能否讓18吋晶圓合乎晶圓面積增加的經濟效益，也值得思考。
游秋山指出，內部目標是希望與12吋晶圓相比，18吋晶圓的設備綜合效率（Overall Equipment Efficiency），至2018年可以提升至12吋晶圓的1.1倍、2022年提升至1.8倍，而設備價格則可以壓低至小於12吋晶圓的1.4倍。
半導體同業於今年3月成立了全球450mm聯盟。游秋山表示，此舉就是希望能降低18吋晶圓生產設備所需的成本，關鍵點就是設備商要和晶圓廠密切合作。
台積產能居世界之冠
根據SEMI統計數據，若去除記憶體相關產品線，台積電在2011年已擁有近110萬片約當8吋晶圓片的產能，居世界之冠，估計至今年底，台積電12吋廠的所有潔淨室面積超過32個世界盃足球場大小。

來源:蘋果日報